ダイヤモンド基板上の垂直配向グラファイト層
背景
◆パワーデバイスに大電流を流す電極が必要
◆グラファイトは面水平方向に高い電気伝導性・熱伝導性をもつ
◆グラファイトを高密度に基板上に配向できれば電極として使える
◆グラファイトは面水平方向に高い電気伝導性・熱伝導性をもつ
◆グラファイトを高密度に基板上に配向できれば電極として使える
シーズ概要
◆ダイヤモンド(100)表面に高温イオン注入する
◆注入後の熱処理(1700℃、2時間)により、格子間の炭素原子が表面に拡散
◆垂直配向グラファイト層が形成
◆注入後の熱処理(1700℃、2時間)により、格子間の炭素原子が表面に拡散
◆垂直配向グラファイト層が形成
優位性
◆ダイヤモンドのイオン注入時に同時に形成
◆垂直方向に伝導性が高い
◆ダイヤモンドときれいな接合界面を形成→コンタクト材料応用
◆垂直方向に伝導性が高い
◆ダイヤモンドときれいな接合界面を形成→コンタクト材料応用
応用・展開
◆ ダイヤモンドイオン注入領域へのコンタクト電極
◆ 高密度に触媒担持可能な炭素電極
◆ 高密度に触媒担持可能な炭素電極
共同研究者
稲葉 優文 非常勤講師 (当時)
他のシーズ
掲載日:
2016/02/03