ダイヤモンド基板上の垂直配向グラファイト層

2016-0203-07

◆パワーデバイスに大電流を流す電極が必要
◆グラファイトは面水平方向に高い電気伝導性・熱伝導性をもつ
◆グラファイトを高密度に基板上に配向できれば電極として使える

◆ダイヤモンド(100)表面に高温イオン注入する
◆注入後の熱処理（1700℃、2時間）により、格子間の炭素原子が表面に拡散
◆垂直配向グラファイト層が形成

◆ダイヤモンドのイオン注入時に同時に形成
◆垂直方向に伝導性が高い
◆ダイヤモンドときれいな接合界面を形成→コンタクト材料応用

◆ ダイヤモンドイオン注入領域へのコンタクト電極
◆ 高密度に触媒担持可能な炭素電極

稲葉優文非常勤講師 (当時)

掲載日: 2016/02/03