「埋もれた界面」の計測技術 - SERSを用いたプラズモンセンサ及び測定システム

2016-0203-05
研究者名
所属
専門分野
ナノマイクロシステム,機能物性化学,電子デバイス・電子機器
キーワード

背景

◆分析プローブが届かない埋もれた界面の測定は難しい
◆非破壊測定が困難、測定機器が大型で操作が困難

シーズ概要

◆ナノスケールでの固液界面など材料表面から埋もれた界面や原子レベルの化学構造変化が測定可能

優位性

◆0.1nm以下の深さ分解能、現状10倍以上の高感度
◆非破壊計測、安価、その場観察が可能

応用・展開

◆磁気ディスクめっき液界面、Liイオン電池、半導体デバイスなど

資料

  • 測定対象となる「埋もれた界面」の例
  • SERS効果を効率的に高める透過型センサ
  • グラファイトのGピーク強度の深さ方向プロファイル
掲載日: 2016/02/03