単一入力信号によるMEMSマイクロミラーの3次元駆動
背景
◆ MEMSマイクロミラーはプロジェクタや内視鏡など幅広い分野の光デバイスに応用可能
◆ 3次元に光を走査するMEMSミラーへの需要
◆ 駆動方向の増加によるデバイスの大型化する問題
◆ 3次元に光を走査するMEMSミラーへの需要
◆ 駆動方向の増加によるデバイスの大型化する問題
シーズ概要
◆ 単一の駆動機構により3つの共振モードを出力
◆ ３つの共振周波数を重ね合わせた一つの信号の入力によって3次元に駆動
◆ ３つの共振周波数を重ね合わせた一つの信号の入力によって3次元に駆動
優位性
◆単一駆動機構や単一駆動信号よるデバイスの小型化
応用・展開
◆ 3次元画像を取得できる内視鏡 や網膜投影プロジェクタなど3次元映像を取得する小型デバイス
他のシーズ
掲載日:
2020/12/17
