単一入力信号によるMEMSマイクロミラーの3次元駆動

2017-0223-04
研究者名
所属
専門分野
ナノマイクロシステム,知能機械学・機械システム,知能ロボティクス
キーワード

背景

◆ MEMSマイクロミラーはプロジェクタや内視鏡など幅広い分野の光デバイスに応用可能
◆ 3次元に光を走査するMEMSミラーへの需要
◆ 駆動方向の増加によるデバイスの大型化する問題

シーズ概要

◆ 単一の駆動機構により3つの共振モードを出力
◆ ３つの共振周波数を重ね合わせた一つの信号の入力によって3次元に駆動

優位性

◆ 単一駆動機構や単一駆動信号よるデバイスの小型化

応用・展開

◆ 3次元画像を取得できる内視鏡や網膜投影プロジェクタなど3次元映像を取得する小型デバイス

資料

  • 3次元MEMSミラー
  • MEMSマイクロミラーの共振周波数と共振モード
  • 　

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掲載日: 2017/02/23