薄膜熱電発電デバイス、薄膜熱電発電デバイス部品及びその製造方法
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- 研究者名
- 所属
- 専門分野
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ナノマイクロシステム,知能機械学・機械システム,知能ロボティクス
- 特許名称
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薄膜熱電発電デバイス、薄膜熱電発電デバイス部品及びその製造方法
- 公開番号
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特開2023- 51302
共同発明者
他のシーズ
掲載日:
2021/12/07
