2012-0903-03
エネルギー
掲載日：2012/09/03
集束イオンビーム（FIB）によるマスクレス直接エッチング技法
鷲尾 方一 教授 (理工学術院 理工学術院総合研究所) (当時)
本研究では、架橋PTFEのナノスケール微細加工を検討するため、集束イオンビーム（FIB）によるマスクレス直接エッチングを試みている。 作製した微細構造体のFE-SEM像を図に示す。
