圧電膜及び該圧電膜を用いた周波数フィルタ

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研究者名
所属
専門分野
電子デバイス・電子機器,薄膜・表面界面物性,応用物理学一般,ナノマイクロシステム,ナノバイオサイエンス
出願人
早稲田大学
掲載日: 2024/11/06