ダイヤモンド半導体を用いた高信頼性電力素子

2014-0122-05
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research field
電子・電気材料工学
keyword

summary

・550℃の大気中でも導電性が確保され、絶縁性が向上した保護膜の製造方法
・表面を水素化したダイヤモンド基板上に2層の保護膜を形成することで実現

background

・優れた物性をもつダイヤモンド半導体のパワーデバイスのニーズは極めて高い
・しかし、ダイヤモンド半導体の表面は外部環境の影響を受けやすく、動作が不安定

predominance

・ダイヤモンド電界効果トランジスタ(FET)に必要なゲート絶縁性・耐環境性を原子層堆積(ALD)Al2O3技術にて達成
・高電圧、高周波電力素子実用化へ

application/development

・自動車などの高温度雰囲気下での半導体素子
・家電、自動車、工場などの電源用途の半導体素子

purpose of providing seeds

Sponsord research, Collaboration research, Technical consultation

material

  • 保護膜の電流電圧特性
  • 保護膜の成膜(450℃)と除去によるシート抵抗変化
posted: 2014/01/23