EB-NILによる極微細構造体作製
2014-0122-03
- researcher's name
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about researcher 鷲尾 方一 教授 (retired)
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- research field
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原子力学,素粒子・原子核・宇宙線・宇宙物理,物理化学
- keyword
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summary
・省エネ・低コストでの微小部材作製方法
・生体適合性に優れた微小部材
・極限環境下で使用可能な耐薬品・耐熱・耐放射線性に優れたフッ素系微小部材
background
・省エネ・低コストでの微小部材作製方法の確立
・特殊条件下で利用可能な高分子微小部材の必要性
predominance
・電子ビームによる極微細加工
・微細加工と改質を同時に実施
application/development
・生体埋め込み型Bio-MEMS
・人工衛星搭載MEMS
・極限環境内用マイクロマシン
purpose of providing seeds
Sponsord research, Collaboration research, Technical consultation
same researcher's seeds
posted:
2014/01/31
