本研究では小型・軽量で振動変位を直接計測できる変位地震計タイプのMEMS振動計の研究を行っている。この振動計は微小サイズでありながら極めて低い共振周波数を有している。一般にサイズが小さくなるとマスが軽くなるため共振周波数が大きくなる傾向があるが、本研究では負のバネ定数をもつ電極構造を利用することにより、合成バネ定数を極めて小さくして低共振周波数化を実現している。また耐衝撃性を確保するためフォース・バランス機構を採用している。本構造は地震計や超小型重力計にも応用できる。今年度は制御系設計を進めるとともに、デバイスの試作を実施した。制御系設計では、共振周波数の値を維持できる機構を導入した。