圧電効果を用いて波長の短い音波に用いることで、1 mm 角程度の小型フィルタ（BAWフィルタ）がスマートフォンに実用化している。しかし、この方式では耐電力性は1 W程度で、20 W以上が必要な基地局用途では使えない。そのため、基地局用途では、耐電力性を重視して、電磁波をそのまま使った空洞共振器フィルタが使われている。速度の速い電磁波を使うため波長が長く、10 cm以上のサイズとなる。しかしながら、基地局を手軽に大量に設置するニーズは高まるばかりで、小型化が急務である。本研究では、耐電力性の向上が見込まれる分極反転ScAlN多層薄膜SMRの作製および耐電力性の評価系構築に成功した。