表題番号：2020C-617 日付：2021/05/07
研究課題ナノスケール異種材料界面制御による熱マネジメント基盤の構築
研究者所属（当時） 資格 氏名
（代表者） 理工学術院 基幹理工学部 教授 渡邉　孝信
研究成果概要
半導体集積回路における熱マネジメント、マイクロサイズの微小熱電発電デバイス技術の基礎として、薄膜積層材料の接合部の熱抵抗を、ナノスケール構造分析手法と大規模分子動力学シミュレーションを用いて調査した。微細デバイス内の熱制御では、材料そのものの熱抵抗と同等かそれ以上に、異種材料の界面熱抵抗が素子性能に大きなインパクトを与えることが明らかとなった。また、Si結晶表面の酸化膜の界面に沿った熱抵抗を分子動力学法で計算したところ、酸化膜の存在によって熱抵抗が著しく減少すること、その減少幅がSi基板の結晶面方位に依存することが明らかとなった。