表題番号:2019N-022 日付:2020/04/12
研究課題巨大圧電性窒化物の厚膜化による高電圧用圧電アクチュエータの実現
研究者所属(当時) 資格 氏名
(代表者) 理工学術院 先進理工学部 准教授 柳谷 隆彦
研究成果概要

計画通り、電子ビーム加熱真空溶解法によるScAl合金スパッタターゲットの合成を行った。ターゲットから飛来する酸素負イオンによって下することが予想されている。ScAlを合金化すると酸化しにくくなる傾向があることがわかっている。今回、高真空還元雰囲気化で、Sc金属とAl金属を混合溶解させ、ScAl合金スパッタターゲットを作製することに成功した。さらに、。Matlabを用いて電気―機械結合等価回路モデルの構築と分極反転層の圧電薄膜の特性シミュレーションを行った。積層の設計やインピーダンスを含めた挿入損失や整合の特性をシミュレーションすることができた。また、圧電厚膜の電気機械結合係数の新しい評価法および計測系の構築も行っている。