表題番号:2019C-294 日付:2020/05/31
研究課題パワー半導体デバイスの研究
研究者所属(当時) 資格 氏名
(代表者) 理工学術院 大学院情報生産システム研究科 教授 犬石 昌秀
研究成果概要

ダイオードとIGBTを同一チップに内蔵して、順方向と逆方向に電流を流せるReverse conducting IGBT は ①snap backによる電流の不連続、不均一な変化の抑制、②内蔵ダイオードの逆回復特性の改良、③IGBTturn off 特性の改善による消費電力ロスの抑制、などの課題が有り、課題解決には裏面構造、裏面の高濃度N型領域とP型領域のレイアウト、表面側ダイオードの構造、レイアウトと動作への影響を明確に解析することが重要である。このため、プロセス・デバイスシミュレーションと回路シミュレーションを組み合わせたmixed mode の数値解析により、内部動作機構を解析し、構造設計の方法を明らかにした。