表題番号:2016S-170
日付:2017/03/22
研究課題高密度カーボンナノチューブフォレストの構造制御とデバイス応用
研究者所属(当時) | 資格 | 氏名 | |
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(代表者) | 高等研究所 | 助教 | 杉目 恒志 |
- 研究成果概要
- ①導電性基板上CNTフォレストの微小電極アレイへの応用
電子線描画を用いて触媒エリアの直径を1µm程度に設計して担持し,導電性下地上へのCNTフォレストの成長を行った。パターン形状,触媒条件や成長条件がフォレスト構造に与える影響を調べ,レジスト膜厚やリフトオフ条件の最適化を行った。今後さらに構造の最適化と細胞の培養,また実際に活動電位の測定を目指す。
②長尺CNTフォレスト実現
CNTフォレストの成長停止のメカニズムの理解と長尺フォレストの実現を目指した。熱CVD法により成長温度や各種ガス分圧が触媒の寿命に与える影響を調べ1cm程度のCNTを成長させることに成功した。今後引き続き成長停止のメカニズムの詳細な理解と制御を行う。