表題番号：2016B-130
日付：2017/04/16
研究課題ポリマー多次元光スイッチングインターコネクション集積デバイスの開発
| 研究者所属（当時） | 資格 | 氏名 | |
|---|---|---|---|
| （代表者） | 理工学術院 基幹理工学部 | 教授 | 宇高 勝之 |
| （連携研究者） | 研究戦略センター | 教授 | 松島 裕一 |
| （連携研究者） | ナノ・ライフ創新研究機構 | 上級客員研究員 | 石川 浩 |
- 研究成果概要
- LSI内のグローバル配線や積層LSI間の光インターコネクション用として、３次元ポリマー光スイッチを開発した。ポリマーとしてSU-8とPMGIを用いて、２層導波路内に複数のマッハツェンダ型光スイッチと、その層間を方向性結合器または多モード干渉導波路で接続した全体で5層構造構造からなる。熱膨張係数の異なる２種類のポリマーにおいて、積層時の歪みやクラックの発生を防止すべく、各層ごとにステップ型の徐熱・徐冷のベーキングを行い、３次元４x４ポート光スイッチを実現した。スイッチング電力は熱拡散及び熱干渉により約18mWと高いが、低偏光依存で1530〜1610nmの広波長域での特性などを達成した。