表題番号：2016A-508 日付：2018/04/09
研究課題巨大圧電性薄膜を用いた高感度プローブによる高分解能超音波像装置
研究者所属（当時） 資格 氏名
（代表者） 理工学術院 先進理工学部 准教授 柳谷　隆彦
研究成果概要

本研究は、超音波映像装置に応用することを目指して、巨大圧電効果を持つ常誘電体薄膜について数十μｍ以上の厚膜成長させる技術を確立することを目的としている。

RFマグネトロンスパッタ法を用いて膜応力を低減することで厚さ43μmのScAlN厚膜トランスデューサの作製に成功した．ScAlN(0002)Ｘ線回折ピークのロッキングカーブ半値幅が4.4ºであり良好な配向性を示した。ネットワークアナライザで縦波変換損失を測定した結果、共振周波数が81 MHzのときの電気機械結合係数ktは0.43とPZT系に匹敵する値であった．現在、広く実用化されているPVDF高分子膜と比べるとktがはるかに大きいこと示された。