表題番号:2015K-210
日付:2016/04/10
研究課題界面制御による異種結晶構造積層の高品質化
研究者所属(当時) | 資格 | 氏名 | |
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(代表者) | 理工学術院 先進理工学部 | 教授 | 小林 正和 |
- 研究成果概要
- 電気光学効果を利用した高感度テラヘルツ波検知器の実現に向け、透明基板であるサファイア上に面方位が制御された状態の高品質ZnTe薄膜を作製することを目指している。サファイアS面やR面を基板にもちい、成長薄膜との界面の方位関係を調べた。S面上に作製されたZnTeをX線回折法、特に極点図法を用いて解析した。S面基板上に作製する場合にはサファイアC面が大きな影響を与えているが、R面上には異なった形で結晶成長が行われた。ただし、結晶性に関してはS面上に作製されたZnTeより高品質であることが明らかになった。界面を詳細に検討し、C面の情報を引継ぐと同時に表面の原子配置も大きな影響を及ぼしていることが明らかになった。