表題番号:2015K-210 日付:2016/04/10
研究課題界面制御による異種結晶構造積層の高品質化
研究者所属(当時) 資格 氏名
(代表者) 理工学術院 先進理工学部 教授 小林 正和
研究成果概要
電気光学効果を利用した高感度テラヘルツ波検知器の実現に向け、
透明基板であるサファイア上に面方位が制御された状態の高品質ZnTe薄膜
を作製することを目指している。
サファイアS面やR面を基板にもちい、成長薄膜との界面の方位関係を調べた。
S面上に作製されたZnTeをX線回折法、特に極点図法を用いて
解析した。S面基板上に作製する場合にはサファイアC面が大きな影響を与えているが、
R面上には異なった形で結晶成長が行われた。ただし、結晶性に関してはS面上に作製
されたZnTeより高品質であることが明らかになった。界面を詳細に
検討し、C面の情報を引継ぐと同時に表面の原子配置も
大きな影響を及ぼしていることが明らかになった。