本研究では，キャビティーモードの可視化を実現するために，走査型電子顕微鏡に対物レンズを組み込み，カソードルミネッセンス測光部を構築した。試料と対物レンズ間に調整機構を設け，微弱光計測を可能とした。また，検出系に光電子増倍管およびアレイ型分光システムを組み合わせ，シングルおよびマルチチャンネル測定を可能とした。測定試料として酸化亜鉛ナノ構造体を用いて測定系の最適化を行い，空間分解能100 nmを達成した。また，ノイズの軽減法について検討し，二次元フーリエ変換を用いたフィルタリングにより，キャビティーモードの可視化を可能とする高感度測定が実現されることを明らかとした。