表題番号：2014B-340 日付：2015/03/25
研究課題自己診断機能を有した水晶振動子式水素センサ
研究者所属（当時） 資格 氏名
（代表者） 理工学術院 大学院情報生産システム研究科 教授 植田　敏嗣
（連携研究者） 情報生産システム研究科 助手 大井川　寛
研究成果概要
本研究は、2025年の水素ステーションの本格普及期に不可欠な技術要素である次世代水素ガスセンサの開発を目的とする。現状の水素センサではガスの選択性・検出感度・応答性・環境補償性・低消費電力等の要求を満たし、更にセンサ素子自身の劣化状況監視機能を組み込むことはセンサの動作原理上不可能である。これに対し、本水素センサでは、白金触媒と水晶振動子を組み合わせ、水素ステーションで使用されている水素センサの性能目標を達成し、その上でMEM技術を応用することで白金の使用量を低減することにより価格低下を実現する。更に、水晶振動子のQ値などの特性変化を検出することでセンサの故障や性能劣化の監視できる自己故障診断機能を開発する。