本申請課題の目的は、支持梁の幾何形状を工夫することで各自由度に対する共振周波数を設計し、その構造を用いることで少数駆動電極による多自由度のMEMSスキャナの設計と実現可能性の検証を行うことである。

3自由度（x軸回転、y軸回転、z軸回転）を有するMEMSスキャナを対象として、理論的に梁の設計を行うとともに有限要素法シミュレーションにより解析を行った。その結果、1対の梁によって、3自由度の共振周波数の離れた梁形状を設計することができた。さらに、マイクロファブリケーションを用いてMEMSスキャナの試作を行った。試作したMEMSスキャナの共振周波数特性を計測した結果、シミュレーションによる値と同等の特性を得ることができた。