EB-NILによる極微細構造体作製

2014-0122-03
研究者名
研究者情報 鷲尾 方一 教授 (当時)
所属
理工学術院 理工学術院総合研究所
専門分野
原子力学,素粒子・原子核・宇宙線・宇宙物理,物理化学
キーワード

シーズ概要

・省エネ・低コストでの微小部材作製方法
・生体適合性に優れた微小部材
・極限環境下で使用可能な耐薬品・耐熱・耐放射線性に優れたフッ素系微小部材

背景

・省エネ・低コストでの微小部材作製方法の確立
・特殊条件下で利用可能な高分子微小部材の必要性

優位性

・電子ビームによる極微細加工
・微細加工と改質を同時に実施

応用・展開

・生体埋め込み型Bio-MEMS
・人工衛星搭載MEMS
・極限環境内用マイクロマシン

提供目的

受託研究、共同研究、技術相談

資料

  • 典型的な電子ビームナノインプリント工程
  • 改質フッ素樹脂微小部材の作製例
  • 架橋ポリ乳酸の形状安定性

他のシーズ

  • 高品質ビーム利用実験
  • 放射線化学反応初期過程の解明 ～パルスラジオリシス実験～
  • 集束イオンビーム（FIB）によるマスクレス直接エッチング技法
  • フォトカソードRFガンを用いた逆コンプトン散乱軟X線源の開発
掲載日: 2014/01/31