電荷付与体およびそれを用いたパターン形成体

248
研究者名
所属
専門分野
ナノマイクロシステム,機能物性化学,電子デバイス・電子機器
特許名称
電荷付与体およびそれを用いたパターン形成体
特許番号
第4614631号
出願人
学校法人早稲田大学
出願国・地域
日本

シーズ概要

結晶性半導体に着目し、結晶性半導体が有する結晶構造を巧みに利用し、従来では困難であった微細なパターン形成を低コストで実現する技術を提供する。
掲載日: 2013/12/25