近接場分光顕微装置

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研究者名
所属
専門分野
薄膜・表面界面物性,ナノ構造科学,物理化学
キーワード
特許名称
近接場分光装置
公開番号
2017-58281
出願人
学校法人早稲田大学
出願国・地域
日本

シーズ概要

◆ナノメートルの空間分解能で試料の分光特性評価が可能
◆単一波長での測定に限定されていた反射観察を多波長に拡張
◆「位相ステッピング法」により広帯域かつ高精度の分光測定を実現
◆測定対象が不透明なものでも測定可能に

優位性

◆回折限界を超える空間分解能を実現 
◆高精度の分光データから得られる明瞭な物性 
◆既存の近接場分光装置に後付可能

備考


透明な試料でも高精度かつ明瞭に観察できる

提供目的

受託研究、共同研究、技術相談、知財ライセンス

資料

  • 近接場反射スペクトルの比較
  • 近接場反射イメージの比較
  • 計算スペクトルとの比較

共同発明者

溝端 秀聡

掲載日: 2015/11/03