電界効果トランジスタ、その製造方法及びバイオセンサ

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研究者名
所属
専門分野
電子・電気材料工学
特許名称
電界効果トランジスタ、その製造方法及びバイオセンサ
特許番号
第5366215号
出願人
学校法人早稲田大学
出願国・地域
日本

シーズ概要

電解質溶液中で動作する電界効果トランジスタ型のセンサにおいて、ソース・ドレイン電極をTiで形成し、かつ電解液に短絡しないよう前記Ti電極にTiO2膜を形成する。

共同発明者

田島 慎也

掲載日: 2013/12/25