ナノインプリント技術を用いた高品質GaNテンプレート基板
2014-0122-06
- researcher's name
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about researcher 水野 潤 客員上級研究員 (retired)
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- research field
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電子デバイス・電子機器,ナノバイオサイエンス,知能機械学・機械システム,電子・電気材料工学
- keyword
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summary
・ナノインプリント技術によるナノサイズのマスクパターン転写技術
・ドライエッチング技術によるELOに適したマスクパターン形成技術
・HVPE技術によるGaN結晶成長技術(古河機械金属(株))
・光学測定による結晶性/残留歪評価技術(金沢工業大学)
background
・高出力白色LED市場の拡大
・蛍光灯に代替できる安価で発光効率が高いInGaN系白色LEDを実現するために、安価で結晶性に優れた高品質GaN基板の開発が急務であること
predominance
・ナノインプリント技術を用いて、マスク開口部の幅をナノメーターレベルに小さくすることで転位を削減
・結晶性に優れたGaNテンプレート基板を提供
application/development
・高輝度白色LED用基板(例 固体照明、自動車ヘッドランプ、液晶バックライト等)
・電子デバイス用基板(例 インバーター、HEV,EV用パワートランジスタ)
remarks
本開発はNEDO助成事業として古河機械金属(株)、早稲田大学、金沢工業大学の共同で実施(H23-H25)
purpose of providing seeds
Sponsord research, Collaboration research, Technical consultation
collaborative researchers
庄子 習一 教授 (理工学術院 基幹理工学部 電子光システム学科) (retired)
same researcher's seeds
- 異種材料の低温大気圧ハイブリッド接合技術
- マイクロ流体白色有機EL
- 骨親和性の生体埋植材
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- 半球面電極を備えた高分解能ディスプレイ型光電子分析器による構造と電子状態の同時観測方法
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posted:
2014/01/31