ダイヤモンド半導体を用いた高信頼性電力素子
2014-0122-05
- researcher's name
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about researcher 川原田 洋 教授
- affiliation
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理工学術院 基幹理工学部
- research field
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電子・電気材料工学
- keyword
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summary
・550℃の大気中でも導電性が確保され、絶縁性が向上した保護膜の製造方法
・表面を水素化したダイヤモンド基板上に２層の保護膜を形成することで実現
background
・優れた物性をもつダイヤモンド半導体のパワーデバイスのニーズは極めて高い
・しかし、ダイヤモンド半導体の表面は外部環境の影響を受けやすく、動作が不安定
predominance
・ダイヤモンド電界効果トランジスタ（FET)に必要なゲート絶縁性・耐環境性を原子層堆積（ALD）Al2O3技術にて達成
・高電圧、高周波電力素子実用化へ
application/development
・自動車などの高温度雰囲気下での半導体素子
・家電、自動車、工場などの電源用途の半導体素子
purpose of providing seeds
Sponsord research, Collaboration research, Technical consultation
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posted:
2014/01/23